利用制作的能力好高臭氧UV紫外線光束照射有用氣體及空氣中的氧分子，裂解有用氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子性能穩定或低害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。凈化能力可達。
光氧廢氣凈化器采用的大功率能力好紫外線放電管，屬低壓水銀放電管，發出的紫外線波長主要為170nm及184.9nm(目前正在研究設備150nm到184.9nm波長系列產品)。要裂解切斷污染物質分子的分子鍵，就要使用發出比污染物質分子的結合能強的光子能。表1列出了主要的化學分子的結合能。由表1中可知，大多數化學物質的分子結合能比170nm及184.9nm波長紫外線的光子能量低，所以，本UV效果光解凈化器能分解除碳，鈣，金屬外的大多數化學物質。
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